半導(dǎo)體設(shè)備長坡厚雪，行業(yè)黃金發(fā)展正當(dāng)時(shí)。半導(dǎo)體設(shè)備在硅片制造以及芯片制造的前道/后道工藝中均發(fā)揮著重要作用。半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)壁壘高筑，當(dāng)前為國產(chǎn)廠商黃金窗口期：技術(shù)維度看，半導(dǎo)體設(shè)備是由成千上萬的零部件組成的復(fù)雜系統(tǒng)，需保障設(shè)備在nm級別的操作、長時(shí)間運(yùn)行下的超高良率?？蛻艟S度看，由于設(shè)備本身和產(chǎn)線構(gòu)成的復(fù)雜性，晶圓制造廠商對于上游設(shè)備的驗(yàn)證、驗(yàn)收有嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)和流程，常規(guī)情況下導(dǎo)入新供應(yīng)商意愿差，但受益貿(mào)易摩擦，下游晶圓廠積極導(dǎo)入國產(chǎn)設(shè)備，帶來黃金窗口期。下游擴(kuò)產(chǎn)及技術(shù)升級趨勢明確，本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商已實(shí)現(xiàn)初步導(dǎo)入，技術(shù)水平/工藝覆蓋度有望快速提升，完成0到1向1到N的轉(zhuǎn)變，有望加速放量。
國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備持續(xù)取得突破。近年來我國半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域發(fā)展迅猛，其中去膠設(shè)備已基本實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化，刻蝕、清洗、熱處理等設(shè)備國產(chǎn)化率20%左右，相關(guān)廠商業(yè)績持續(xù)放量，PECVD、涂膠顯影設(shè)備、離子注入設(shè)備國產(chǎn)化率僅個(gè)位數(shù)，但產(chǎn)品驗(yàn)證、客戶合作進(jìn)展順利，進(jìn)入加速放量期。1)刻蝕設(shè)備：中微公司、北方華創(chuàng)部分技術(shù)已達(dá)到國際一流水平;2)薄膜沉積設(shè)備：拓荊科技引領(lǐng)PECVD國產(chǎn)化，北方華創(chuàng)PVD優(yōu)勢顯著，中微公司主攻MOCVD設(shè)備，共同受益國產(chǎn)化率提升。3)光刻機(jī)：上海微電子目前已可量產(chǎn)90nm分辨率的ArF光刻機(jī)，28nm分辨率的光刻機(jī)也有望取得突破。5)清洗設(shè)備：國內(nèi)盛美上海、芯源微等廠商加速突破。盛美單片清洗設(shè)備最高可單臺配置18腔體，達(dá)到國際先進(jìn)水平;芯源微單片物理清洗設(shè)備國內(nèi)領(lǐng)先，持續(xù)開拓單片化學(xué)清洗設(shè)備市場。6)涂膠顯影設(shè)備：芯源微為前道涂膠顯影設(shè)備國內(nèi)唯一供應(yīng)商，有望按照I-line→KrF→ArF→ArFi的路徑實(shí)現(xiàn)對海外涂膠顯影設(shè)備的替代。7)CMP設(shè)備：華海清科差異化技術(shù)布局打破海外壟斷，是目前國內(nèi)唯一一家能夠提供12英寸CMP商業(yè)機(jī)型的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商。8)熱處理設(shè)備：屹唐半導(dǎo)體19年全球市占率5%，北方華創(chuàng)立式爐、臥式爐達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平。9)離子注入機(jī)：應(yīng)用材料壟斷，國內(nèi)凱世通(萬業(yè)企業(yè))、中科信引國產(chǎn)替代。10)去膠設(shè)備：屹唐半導(dǎo)體為去膠設(shè)備全球龍頭，市占率全球第一。
下游制造廠商大幅擴(kuò)產(chǎn)為設(shè)備國產(chǎn)化提供土壤，國產(chǎn)化率提升可期。終端新興應(yīng)用對半導(dǎo)體需求量以及性能的升級推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備市場持續(xù)擴(kuò)容。工藝層面，隨著制程推進(jìn)和工藝升級，單位產(chǎn)能下設(shè)備需求將進(jìn)一步增加，推動(dòng)設(shè)備行業(yè)附加值持續(xù)提升。需求層面，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)資本支出保持強(qiáng)勁增長，根據(jù)ICInsights數(shù)據(jù)，2022年全球半導(dǎo)體行業(yè)資本支出預(yù)計(jì)將達(dá)到1904億美元，同比提升24%。其中國內(nèi)廠商擴(kuò)產(chǎn)更為激進(jìn)，預(yù)計(jì)我國將在十年中增加全球40%的新半導(dǎo)體制造能力，極大拉動(dòng)國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備需求，有望助推國產(chǎn)替代進(jìn)程。
投資建議與投資標(biāo)的
我們認(rèn)為半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域壁壘高，市場前景廣闊，本土廠商在國產(chǎn)替代趨勢下業(yè)績確定性高，長期成長屬性凸顯。建議關(guān)注國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)拓荊科技、中微公司、北方華創(chuàng)、芯源微、萬業(yè)企業(yè)、華海清科、盛美上海等。
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