很多人都知道半導(dǎo)體工藝中光刻機(jī)是最核心的，因?yàn)樗鼪Q定了半導(dǎo)體工藝的技術(shù)水平，而且成本能占到整個(gè)芯片的1/3。在進(jìn)入7nm節(jié)點(diǎn)之后，光刻機(jī)也需要升級(jí)到EUV光刻機(jī)，目前僅有荷蘭ASML公司能造，該公司CEO表示EUV光刻機(jī)非常復(fù)雜，沒(méi)有可能被復(fù)制，全球只有ASML能生產(chǎn)。

據(jù)荷蘭媒體報(bào)道，在1月22日的ASML財(cái)報(bào)會(huì)議上，ASML公司CEO Peter Wennink談到了EUV光刻機(jī)的問(wèn)題，他解釋說(shuō)ASML是EUV光刻機(jī)的系統(tǒng)集成商，這套設(shè)備集成了全球數(shù)百家公司的技術(shù)，擁有超過(guò)8000多個(gè)零部件，許多零件都是非常復(fù)雜的。

Peter Wennink表示，以鏡頭為例(注：物鏡系統(tǒng)是光刻機(jī)三大核心之一，其他兩個(gè)是激光系統(tǒng)、工作臺(tái))，卡爾蔡司為ASML提供光學(xué)鏡頭，集成了各種反光鏡及光學(xué)部件，世界上沒(méi)有哪家公司能夠復(fù)制他們的技術(shù)。

Peter Wennink強(qiáng)調(diào)，ASML的光刻機(jī)裝有傳感器，一旦檢測(cè)到異常情況就會(huì)發(fā)出警報(bào)。

根據(jù)ASML財(cái)報(bào)的最新財(cái)報(bào)，2019年該公司交付了26臺(tái)EUV光刻機(jī)，遠(yuǎn)超上一年的18臺(tái)，預(yù)計(jì)2020年交付35臺(tái)EUV光刻機(jī)，2021年則會(huì)達(dá)到45臺(tái)到50臺(tái)的交付量，是2019年的兩倍左右。

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