據(jù)《科創(chuàng)板日報》，光刻機制造商阿斯麥 ASML 公布了 EUV 路線圖上的新機型 TWINSCANNXE:3600D 的最終規(guī)格，這是 30mJ/cm2 的曝光速度達到每小時曝光 160 片晶圓，提高了 18% 的生產(chǎn)率，并改進機器匹配套準精度至 1.1 納米，計劃于 2021 年的中期開始發(fā)貨。

IT之家曾報道，ASML 昨日公布了三季度財報：第三季度銷售額為 40 億歐元，凈利潤 11 億歐元，毛利率 47.5%，凈利率 27.5%，第三季度新增訂單 29 億歐元。

據(jù)外媒報道，ASML 向客戶交付并可確認收入的光刻機達 60 臺。其中，14 臺為極紫外光刻機，較上一季度增加 7 臺，但整體的交付量較上一季度減少了 1 臺。

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